EQ-10采用了升級版的無電極Z-pinch™技術，具有緊湊易用，高可靠性以及低成本等特點非常適用於測量以及研（yán）究等應用領域。該款光源已經在（zài）全球交付30多台，均得到客戶的一致好評（píng），現已經成為EUV用戶的主要光源來源。
為了滿足不同應用（yòng）的使用需（xū）求，該產品在使用上進行了如（rú）下的優（yōu）化，以期更加地用戶友好：1、用戶可以根據對峰值功率和峰值亮度的不同來調節EUV的光輸出。2、在典型操作（zuò）中，等離子體的直徑通（tōng）常小於1mm。3、係統外側留有光學接口，方便客戶進行應用程序設備的連接。4、自定義彩色用戶頁麵，客戶可跟根據需求選擇手動或者自動菜單。
