MEMS 振鏡(jìng)
高性能、超緊湊型電磁驅(qū)動激光掃描微振鏡(MEMS mirror)
S12237-03P是一個融合(hé)了我司獨(dú)特的MEMS工藝的電磁驅動振鏡。通過在振鏡下嵌入磁石來實現超(chāo)小的尺寸。伴隨這磁石發出的磁場,電流流動成線圈狀環繞振鏡,基於弗萊明(Fleming)的左手定論,產生的洛(luò)倫茲力(Lorentz force)將驅動振鏡。濱鬆MEMS mirror可提供(gòng)較寬的光偏轉角,且隻需低功耗便可獲得(dé)較高(gāo)的鏡麵反射率。